WF6 প্রধানত ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ধাতব টংস্টেনের রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়ার কাঁচামাল হিসাবে ব্যবহৃত হয়। WF6 থেকে তৈরি WSi2 বড় আকারের ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (LSI) এ তারের উপাদান হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং এছাড়াও সেমিকন্ডাক্টর ইলেক্ট্রোড, রাসায়নিক এজেন্টের জন্য ফ্লোরিন কাঁচামাল, পলিমারাইজেশন ক্যাটালিস্ট, অপটিক্যাল উপকরণ ইত্যাদির কাঁচামাল হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে।