ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ধাতব টাংস্টেনের রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়ার জন্য WF6 প্রধানত কাঁচামাল হিসেবে ব্যবহৃত হয়। WF6 থেকে তৈরি WSi2 বৃহৎ-স্কেল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (LSI) তে তারের উপাদান হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং সেমিকন্ডাক্টর ইলেকট্রোড, রাসায়নিক এজেন্টের জন্য ফ্লোরিন কাঁচামাল, পলিমারাইজেশন অনুঘটক, অপটিক্যাল উপকরণ ইত্যাদির কাঁচামাল হিসেবেও ব্যবহার করা যেতে পারে।